互联网 中国团队开发新的5 nm超高精度激光光刻处理方法 2020-07-14 一个中国团队最近在《纳米快报》上发表了一篇研究论文,描述了一种新型的5 nm超高精度激光光刻处理方法。这项研究是由中国科学院苏州纳米